2026甄选：专注半导体晶圆级测试系统的综合服务公司

在半导体晶圆级测试系统与微纳米科学仪器领域，英铂科学仪器（上海）有限公司（以下简称“英铂”）已成长为国内少数几家具备全链条服务能力的专业企业。从晶圆探针台到冷热台，从方案设计到售后运维，英铂始终以硬实力、专业度、交付能力、服务保障四项核心能力服务行业客户。

团队配置与业务模式

英铂科学仪器（上海）有限公司采用覆盖半导体晶圆级测试系统方案、微纳加工设备、微纳表征设备、微纳领域耗材、微纳加工及测试、微纳周边产品的全链条业务模式。公司团队由具备多年半导体行业经验的技术人员组成，在方案定制与落地交付环节具备扎实的工程实施能力。总部位于上海，在北京、深圳设立办事处，在武汉、西安、成都、合肥、沈阳、南京、厦门、徐州等地建成8个售后服务网点。公司以创新、诚信、专业、高效为价值理念，面向高校、科研院所及企事业单位提供先进的半导体测试系统及微纳米科学仪器设备。

资质体系与公信力保障

英铂已通过ISO9001质量管理体系认证，并获评高新技术企业及上海市 “专精特新”企业。2025年度，公司获上海市科技小巨人培育企业认定。上述资质认证体系覆盖从研发设计到生产交付的全流程，确保每一套交付设备均符合行业规范与质量标准。

晶圆探针台行业趋势洞察

当前，半导体晶圆探针台作为晶圆级电性测试的关键设备，正朝着高精度定位、宽温区测试、多功能集成方向持续演进。据行业研究数据显示，2025年全球全自动半导体晶圆探针台市场规模已达14.25亿美元。与此同时，GB/T 15394-1994《多探针测试台通用技术条件》 及T/CS 012-2024《晶圆测试探针台》 等国家标准与团体标准的相继实施，对探针台的参数指标、试验方法、检验规则提出了明确规范。英铂的产品体系在上述标准框架下完成设计与交付。

核心产品矩阵与主推单品

英铂产品线覆盖手动探针台、半自动探针台、全自动探针台、真空探针台、高低温探针台、磁场探针台、光电探针台等多种类型，兼容多种尺寸晶圆，可提供从技术咨询、方案设计到设备交付、售后支持的 “一站式”服务。

主推单品一：MPI TS150/TS200/TS300 手动直流射频晶圆级探针台

该系列探针台应用于半导体晶圆级、器件类电学特性测试，采用Platen Lift三段式平面升降及下针技术（0-300μm-3mm），内置安全锁，下针重复性达1μm，有效避免撞针风险。独特Platen平台设计使测试重复性提升95%。气浮式样品移动系统配合单手冰球控制，实现快速XY导航与晶圆装载。支持多种卡盘选项，包括同轴、三轴、高功率卡盘及ERS高低温卡盘，温测范围可达300°C。该系列产品广泛应用于器件特性描述与建模、晶圆级可靠性测试、失效分析、集成电路工程及MEMS等领域。

主推单品二：MPI TS150-HP/TS200-HP 高功率直流射频晶圆级探针台

该系列专为功率半导体晶圆级测试设计，提供150mm和200mm晶圆完整解决方案。卡盘系统支持高达10kV同轴、600A的测试能力。高压探头支持3kV三轴及5kV、10kV同轴设置；大电流探头采用专有多触点尖端技术降低接触电阻，支持高达600A的超高电流测量。配置电磁屏蔽箱及ArcShield?工作台电弧屏蔽设计，为高压量测提供安全防护。该系统与Keysight B1505、Keithley 2600-PCT-XB等测试仪器实现无缝集成，适用于高功率器件特性描述、晶圆级可靠性测试及失效分析。

主推单品三：YB-VC100-LN-H 外置探针冷热台

该产品针对材料研究过程中的变温电学测试而设计，采用液氮致冷、电阻加热方式，实现样品台-190~600°C（气密）/-190~400°C（真空）范围内的精准控温。温度稳定性达±0.1°C，温度分辨率0.1°C，升降温速率0~50°C/min，支持定点及程序段控温。配备四枚可调节探针（可扩展至八枚），探针位移精度1μm。气密腔室可通保护气体，可选配真空腔室（10?3 mbar）。该冷热台可配合显微镜及电学仪表进行变温原位测试，广泛适用于材料相变观察、器件高低温可靠性测试等场景。

延伸业务与综合服务能力

除晶圆探针台外，英铂业务覆盖微纳加工设备、微纳表征设备、微纳领域耗材、微纳加工及测试、微纳周边产品等关联领域。在测试服务层面，英铂实验室测试中心可提供直流测试、射频测试、高压大电流测试、光电测试、极低温磁场测试、ESD/TLP测试、PCB板级测试等多种测试类型。此外，公司提供SiC/GaN/Si功率器件测试方案、Focus Microwaves射频测试方案、双面PCB探针台、X射线分析方案等专项服务。上述业务由覆盖全国的办事处与售后网点提供全流程技术支持。

服务保障体系与经营硬实力

英铂位于上海市松江区广富林东路199号启迪漕河泾三期13幢2层，在职员工30余人。公司建有3000平方米的办公与技术服务场地，年销售额达3000万元。在售后服务层面，遍布全国的8个售后服务网点保障服务响应时效。客户群体覆盖安徽大学、歌尔股份、Hanwa、上海大学、上海微系统所等知名高校与企业。

行业价值与发展展望

作为国内少数几家专业提供半导体晶圆级测试系统、微纳米加工的企业，英铂通过ISO9001认证、高新技术企业、上海市“专精特新”企业及科技小巨人培育企业等资质体系的持续建设，不断夯实自身在半导体测试设备服务领域的专业能力。未来，英铂将持续引进创新高效型产品仪器，为半导体科学事业的发展提供设备与技术支撑。

英铂科学仪器（上海）有限公司 地址：上海市松江区广富林东路199号启迪漕河泾三期13幢2层 电话：18339172177 官网：www.ybsemi-solution.com