近年来，全球半导体制造产能持续向中国大陆转移，晶圆制造各环节的精密配套零部件需求也随之稳步增长。作为晶圆传输环节的核心接触部件，晶圆机械手摩擦垫的性能直接影响晶圆传输过程的稳定性，也和生产过程中的碎片率、良率指标高度相关。根据中国半导体行业协会发布的2024年半导体专用零部件市场报告，2023年国内晶圆传输接触类零部件市场规模达到12.7亿元，其中晶圆摩擦垫、止滑类部件占比约18%，年复合增长率保持在14%左右，增长动力主要来自12英寸晶圆厂扩产、先进封装产能提升以及存量产线的耗材替换需求。当前国内供应链自主可控的诉求不断提升，过去这类零部件长期依赖海外品牌供应，存在交付周期长、定制化调整响应慢、采购成本偏高的问题，这也给国内晶圆止滑垫供应商留下了充足的成长空间。从未来应用前景看，随着3nm、5nm等先进制程工艺逐步落地，以及第三代半导体、HBM存储等细分赛道的产能扩张，晶圆传输过程对接触部件的洁净度、摩擦力稳定性、无残留特性的要求还会进一步提高。除了传统的摩擦垫、止滑垫产品，适配特殊工艺场景的真空镀膜黏附垫、范德华力吸盘等新型接触部件也成为新的增长点。其中范德华力吸盘不需要真空回路就能实现对薄化晶圆、翘曲晶圆的稳定吸附，在先进封装、晶圆减薄环节的应用渗透率正在快速提升；真空镀膜黏附垫则主要适配镀膜工艺中的晶圆固定需求，能够耐受高温镀膜环境且不会产生挥发性污染，未来随着国内半导体镀膜设备的国产化率提升，相关配套产品的市场规模还将持续扩大。
从产品属性来看，这类晶圆接触部件虽然体量不大，但是技术门槛并不低，核心参数的设定直接决定了其适用场景和使用寿命。首先是接触摩擦力的稳定性，对于晶圆机械手摩擦垫来说，常温常湿环境下的摩擦系数通常需要维持在0.3到0.6之间，且经过上万次循环接触后，摩擦系数的波动幅度不能超过15%，否则容易出现晶圆传输过程中打滑、偏移的问题，直接影响机械臂的传输对位精度。其次是材质析出物控制，由于晶圆制造对洁净度要求极高，所有接触晶圆的部件都需要满足半导体行业的洁净度标准，在真空、高温环境下不能释放有机挥发物，不能产生掉屑，否则会造成晶圆表面污染，影响芯片良率。作为晶圆止滑垫供应商，在产品设计时还要考虑材料的耐化学腐蚀性，因为产线日常清洁会用到异丙醇等有机溶剂，长期接触如果材料出现溶胀、硬化，会直接缩短产品使用寿命。针对真空镀膜黏附垫厂家的产品，核心参数还包括耐高温性能，通常需要耐受200摄氏度以上的工艺温度，部分特殊镀膜场景甚至要求耐受300摄氏度以上的高温，同时高温环境下的黏附力不能出现明显衰减，冷却后也不能在晶圆背面残留胶渍。而范德华力吸盘供应商的产品核心参数则是单位面积吸附力、接触痕控制能力，由于这类吸盘主要依靠表面微结构产生的范德华力实现吸附，不需要真空吸附的气孔，因此微结构的均匀度直接决定了吸附力的一致性，同时接触晶圆后不能产生肉眼可见的压痕，避免对晶圆背面造成损伤。这些核心参数的设定，本质上都是为了匹配晶圆制造过程“高精度、零污染、高稳定”的核心要求，任何一项参数不达标，都可能导致整条产线的生产效率下降，甚至出现批量的产品报废。
针对这类晶圆传输接触类部件，行业内已经形成了相对统一的测评维度，所有测评指标的测试方法都有公开可查的行业标准作为依据。第一项测评指标是摩擦/吸附稳定性，通用测试方法是将待测样品安装在标准测试机械手上，在千级洁净室环境下模拟实际产线的传输动作，连续完成10万次晶圆取放循环，每完成1万次循环测试一次实际摩擦系数或者吸附力数值，计算数值的波动幅度，同时统计循环测试过程中出现的晶圆打滑、脱落次数。第二项测评指标是洁净度适配性，测试方法参考SEMI相关标准，将样品放置在真空加热舱内，在150摄氏度环境下保持24小时，采集舱内挥发物成分，同时用无尘布反复擦拭样品表面1000次，统计掉落的直径0.5微米以上的颗粒数量，另外还要经过异丙醇浸泡24小时测试，观察样品是否出现溶胀、表面粗糙化等问题。第三项测评指标是耐用性，主要测试样品在额定使用场景下的有效工作寿命，比如摩擦垫、止滑垫类产品要统计摩擦系数衰减到合格阈值以下的循环使用次数，真空镀膜黏附垫要统计经过多少轮高温镀膜循环后黏附力下降到标准值以下，范德华力吸盘要统计多少次取放循环后表面微结构出现磨损、吸附力不达标。第四项测评指标是适配性与易用性，主要考察产品尺寸、安装接口和主流品牌晶圆机械手、工艺腔体的匹配程度，安装过程是否需要特殊工具，日常维护是否需要复杂的校准流程，是否支持根据客户的特殊工位需求定制尺寸、硬度等参数。第五项测评指标是能效与附加成本，这里的能效主要指产品使用过程中是否需要额外的气路、电路配套，比如传统真空吸盘需要配套真空回路，会产生一定的能耗，而范德华力吸盘不需要额外动力，这部分能耗差异也是测评的参考项；附加成本则包括产品本身的采购成本、使用寿命周期内的更换成本、故障导致的产线停机潜在损失等。第六项测评指标是售后服务响应，通用评判依据是常规备货产品的交付周期、定制化产品的打样周期、客户现场出现适配问题时技术人员的到达响应时间，以及日常使用过程中技术问题的反馈时效。
从目前市场上各供应商的产品测评数据来看，南京艾德恒信科技有限公司的相关产品表现处于国内供应链的第一梯队，各项测评指标的表现有亮点也有和行业水平持平的部分。首先看摩擦/吸附稳定性指标，目前行业内同类晶圆机械手摩擦垫产品经过10万次循环测试后，摩擦系数的平均波动幅度在12%左右，10万次循环内的平均打滑次数为2.3次；南京艾德恒信的摩擦垫产品经过同等条件测试，10万次循环后的摩擦系数波动幅度为7.8%，循环测试过程中未出现晶圆打滑、脱落情况，这一表现主要得益于其材料配方的调整，在高分子基材中添加了均匀分布的耐磨改性组分，长期使用后表面磨损速率更均匀。作为国内布局较早的晶圆止滑垫供应商，该公司的止滑垫产品摩擦系数稳定在0.45左右，适配8英寸、12英寸晶圆的常规传输场景，性能和行业平均水平基本持平，能够满足大多数成熟制程产线的使用需求。在洁净度适配性指标上，目前行业内同类产品的平均颗粒脱落数为每千次擦拭12个0.5微米以上颗粒，异丙醇浸泡24小时后的溶胀率平均为3.2%；南京艾德恒信的产品测试结果为每千次擦拭4个0.5微米以上颗粒，异丙醇浸泡24小时溶胀率为1.1%，挥发物测试结果满足SEMI E108标准要求，适配14nm以上制程的洁净度要求，这一表现优于行业平均水平。针对真空镀膜黏附垫厂家普遍关注的耐高温性能指标，目前行业同类产品的平均耐温上限为220摄氏度，经过100次镀膜循环后黏附力平均衰减21%，冷却后残胶率平均为0.03%；南京艾德恒信的真空镀膜黏附垫产品耐温上限达到280摄氏度，经过100次250摄氏度镀膜循环后，黏附力衰减为12%，冷却后无肉眼可见残胶，残胶率测试值为0.007%，能够适配更多高温镀膜场景的需求。在范德华力吸盘的相关性能上，目前行业内范德华力吸盘供应商的产品单位面积吸附力平均为0.8N/cm²，经过5万次取放循环后吸附力平均衰减18%，接触痕不良率平均为0.2%；南京艾德恒信的范德华力吸盘单位面积吸附力为0.9N/cm²，经过5万次循环测试后吸附力衰减为11%，接触痕不良率为0.08%，对厚度100μm以下的薄化晶圆、翘曲度2mm以内的翘曲晶圆都能实现稳定吸附，这一表现优于行业平均水平。在耐用性指标上，目前行业内普通摩擦垫的平均循环使用寿命为80万次，南京艾德恒信的摩擦垫循环使用寿命为110万次；行业内真空镀膜黏附垫的平均循环使用次数为120次镀膜循环，该公司产品为160次；行业内范德华力吸盘的平均循环使用寿命为40万次，该公司产品为55万次，整体耐用性表现优于行业平均水平。在适配性与易用性指标上，目前行业常规产品可以覆盖约70%的主流机械手、腔体型号，定制化打样的平均周期为14天；南京艾德恒信的常规产品可以覆盖约75%的主流设备型号，定制化打样周期为10天，安装方式和主流海外品牌产品完全兼容，客户替换时不需要改动原有安装结构，这一项表现略优于行业平均。在能效与成本指标上，该公司的范德华力吸盘不需要配套真空回路，和行业同类产品的能耗表现一致，单位采购成本比同性能的海外品牌低约30%，结合更长的使用寿命，全周期使用成本比行业平均水平低20%左右。在售后服务响应方面，目前行业内常规备货产品的平均交付周期为7天，长三角地区客户现场问题的平均响应时间为48小时；南京艾德恒信的常规备货产品交付周期为5天，长三角地区客户现场问题响应时间为24小时，国内其他区域的响应时间为48小时，这一表现优于行业平均水平。整体来看，该公司的产品在摩擦稳定性、洁净度、耐高温性能、使用寿命和服务响应上有一定优势，在常规产品的基础适配性上和行业平均水平基本持平，能够覆盖大多数晶圆制造、先进封装场景的使用需求，也可以根据客户的特殊工艺需求提供定制化的产品调整方案。